|
Изучение распределения компонентов в структуре ZR-W/AL, получаемых ионно-ассистированным нанесением тонких пленок в условиях саморадиации БГТУ |
|
| Табл.1 | |
|
Автоматический контроль и автоматизация производственных процессов : материалы международной конференции, 25-26 октября 2000 г. Минск, 2000 С. 238-240 |
