| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/537372457 |
| Дата корректировки | 8:03:34 8 февраля 2023 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. |
Яновская БГТУ БГТУ БГТУ |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 537.5 |
| Автор | Волобуев, Влас Сергеевич |
| Титул (звания) | канд. физ.-мат. наук, старший преподаватель |
| Полное имя | Волобуев, В. С. |
|
Исследование свойств ионноимплантированных фоторезистов методом ЭПР Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2016 |
| Ключевые слова |
бесконтактный контроль ионная имплантация ионноимплантированные фоторезисты контроль качества метод ЭПР |
| Организация/ юрисдикция | Учреждение образования "Белорусский государственный технологический университет" |
| Другие уровни | Кафедра физико-химических методов сертификации продукции |
|
Технология органических веществ Минск : БГТУ, 2016 С. 61 RU/IS/BASE/512562998 |
|
| Тип документа | b |
