| Индекс УДК | 539.211:539.1.06 |
| Автор | Бобрович, Олег Георгиевич |
|
Формирование покрытия на кремнии нанесением Cr в условиях ионного ассистирования Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2016 |
| Ключевые слова |
Cr-покрытия ионное ассистирование кремний металлические покрытия нанесение покрытий элементный состав |
| Другие авторы | Ташлыков, Игорь Серафимович |
|
Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика 2016 С. 91-95 RU/IS/BASE/532010438 [ко всему сборнику] Издается с июля 1993 года 1683-0377 |
