| Индекс УДК | 541.64:536.4 |
| Автор | Крутько, Эльвира Тихоновна |
|
Использование полиимидов в процессе фотолитографии Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2016 |
| Ключевые слова |
микроэлектронная промышленность полиамидокислота полиимиды тетрамалеинамидокислота фотолитография |
| Другие авторы | Журавлева, Мария Валерьевна |
|
Труды БГТУ. №4. Химия, технология органических веществ и биотехнология 2016 С. 59-66 RU/IS/BASE/527609564 [ко всему сборнику] Издается с июля 1993 года 1683-0377 |
