| Индекс УДК | 539.1.06 |
| Автор | Тульев, Валентин Валентинович |
|
Элементный состав и распределение компонентов по глубине в структурах Ме/Ве, полученных методом ионно-ассистируемого осаждения Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2015 |
| Ключевые слова |
бериллий вольфрам ионно-ассистируемое осаждение медь пленки тонкие резерфордовское обратное рассеяние титан тонкие пленки хром элементный состав |
| Другие авторы | Ташлыков, Игорь Серафимович |
|
Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика 2015 С. 107-111 RU/IS/BASE/499166419 [ко всему сборнику] Издается с июля 1993 года 1683-0377 |
