| Индекс УДК | 539.211:539.1.06 |
| Автор | Бобрович, Олег Георгиевич |
|
Композиционный состав и повреждение кремния при нанесении металлических (Co,Zr, W) покрытий в условиях ионного ассистирования Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания | 2015 |
| Ключевые слова |
ионное ассистирование кремний металлические покрытия нанесение покрытий структура поверхности элементный состав |
| Другие авторы | Ташлыков, Игорь Серафимович |
|
Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика 2015 С. 78-82 RU/IS/BASE/499166419 [ко всему сборнику] Издается с июля 1993 года 1683-0377 |
