|
Позитивно-негативные фоторезисты в технологии литографии БГТУ |
|
|
Разработка импортозамещающих технологий и материалов в химической промышлености : материалы международной научно-технической конференции, 20-22 октября 1999 г. Минск, 1999 С. 119-121 |
