Индекс УДК | 544.478:537.533.9 |
Автор | Поплавский, Василий Владимирович |
Состав и физико-химические свойства поверхностных слоев, формируемых ионно-ассистируемым осаждением металлов из плазмы импульсного дугового разряда Электронный ресурс БГТУ |
|
Место издания | Минск |
Издательство | БГТУ |
Дата издания оригинала | 2014 |
Ключевые слова |
ионно-ассистируемое осаждение ионно-лучевое модифицирование модифицирование поверхности осаждение металлов |
Физико-математические науки Минск : БГТУ, 2014 С. 9-10 RU/IS/BASE/452345381 |