| Автор | Shishkin, N. Y. |
|
Air Sensitive Tin Dioxide Thin Films By Magnetron Sputtering & Thermal Oxidation Technigue Text |
|
| Место издания | Warsaw |
| Издательство | Warsaw University of Technology |
| Дата издания оригинала | 1997 |
| Ключевые слова |
диоксид олова микропленки напыление термическое окисление |
| Другие авторы | Zharsky, I. M. |
|
EUROSENSORS XI Warsaw : Warsaw University of Technology, 1997 P. 479-480 RU/IS/BASE/356781825 |
