Усовершенствование процесса травления кремния в технологии производства пластин монокристаллического кремния
Локун, Р. А., Мурашкевич, Анна Николаевна
Усовершенствование процесса травления кремния в технологии производства пластин монокристаллического кремния, [Электронный ресурс]
Минск :
БГТУ ,
2021 .-
табл.
RU/IS/BASE/696343831, Инновационные материалы и технологии - 2021, Минск : БГТУ, 2021, С. 594-597
