Особенности формирования легированных слоев на поверхности вентильных металлов в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов из плазмы вакуумного дугового разряда
Поплавский, Василий Владимирович, Бобровский, Олег Георгиевич, Дорожко, Александр Валентинович, Матыс, Владимир Генрихович
Особенности формирования легированных слоев на поверхности вентильных металлов в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов из плазмы вакуумного дугового разряда, [Электронный ресурс]
ил.
