| Маркер записи | n 22 7 4500 |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/454154236 |
| Дата корректировки | 11:20:25 26 апреля 2025 г. |
| Служба первич. каталог. | BY-HM0026 |
| 539.234 | |
|
5608н.о. 5608н.о. |
|
|
001 2 48-04 |
|
|
Параметры процесса ионно-ассистируемого осаждения металлооксидных полупроводниковых пленок сложного состава ряда элементов и управление свойствами пленок Отчет о НИР (промежуточ.) БГТУ;Руководитель Шишкин Н.Я.-ГР20012945 |
|
|
Минск 2003 |
|
| 37с | |
|
газочувствительность магнетронное напыление окисление оксид ванадия оксид вольфрама селективность тонкая пленка электрофизические свойства |
|
| 269 |
