Разработка и исследование физико-технологических методов создания микромеханических, микроэлектромеханических и микросенсорных систем на основе тонкопленочной технологии и процессов формирования и модифицирования алюмооксидных микроструктур
Разработка и исследование физико-технологических методов создания микромеханических, микроэлектромеханических и микросенсорных систем на основе тонкопленочной технологии и процессов формирования и модифицирования алюмооксидных микроструктур, [Текст], отчет о НИР (промежуточный), Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный технологический университет" ; рук. Н. Я. Шишкин ; исполн.: Н. Я. Шишкин, А. А. Комаров, Е. В. Мирончик
Минск :
2009 .-
36, [3] с. .-
ил
