-
Параметры процесса ионно-ассистируемого осаждения металлооксидных полупроводниковых пленок сложного состава ряда элементов и управление свойствами пленок
Параметры процесса ионно-ассистируемого осаждения металлооксидных полупроводниковых пленок сложного состава ряда элементов и управление свойствами пленок, Отчет о НИР (промежуточ.), БГТУ;Руководитель Шишкин Н.Я.-ГР20012945
Минск, 2001
37с
-
Параметры процесса ионно-ассистируемого осаждения металлооксидных полупроводниковых пленок сложного состава ряда элементов и управление свойствами пленок
Параметры процесса ионно-ассистируемого осаждения металлооксидных полупроводниковых пленок сложного состава ряда элементов и управление свойствами пленок, Отчет о НИР (промежуточ.), БГТУ;Руководитель Шишкин Н.Я.-ГР20012945
Минск, 2002
30с
-
Параметры процесса ионно-ассистируемого осаждения металлооксидных полупроводниковых пленок сложного состава ряда элементов и управление свойствами пленок
Параметры процесса ионно-ассистируемого осаждения металлооксидных полупроводниковых пленок сложного состава ряда элементов и управление свойствами пленок, Отчет о НИР (промежуточ.), БГТУ;Руководитель Шишкин Н.Я.-ГР20012945
Минск, 2003
37с
-
Параметры процесса ионно-ассистируемого осаждения металлооксидных полупроводниковых пленок сложного состава ряда элементов и управление свойствами пленок
Параметры процесса ионно-ассистируемого осаждения металлооксидных полупроводниковых пленок сложного состава ряда элементов и управление свойствами пленок , Текст, отчет о НИР (промежуточ.) , БГТУ ; руководитель Н. Я. Шишкин - ГР20012945
Минск, 2004
32 с
-
Параметры процесса ионно-ассистируемого осаждения металлооксидных полупроводниковых пленок сложного состава ряда элементов и управление свойствами пленок
Параметры процесса ионно-ассистируемого осаждения металлооксидных полупроводниковых пленок сложного состава ряда элементов и управление свойствами пленок , отчет о НИР (заключ.) , БГТУ ; руководитель Н. Я. Шишкин. - ГР20012945
Минск , 2005
53 с