| Индекс УДК | 621.3.049.77:776(043.3) |
|
Сухая вакуумная микролитография на основе летучих силсесквиоксанов Текст автореф. дис. ... канд. техн. наук : 02.00.01 Академия наук СССР, Сибирское отделение, Институт неорганической химии |
|
| Место издания | Новосибирск |
| Дата издания оригинала | 1983 |
| Объем | 21 с. |
| Примечание | Служебное пользование № 67 |
