Формирование силицидов кобальта и никеля в пленочных структурах металл - пористый кремний
Райко, Вадим Александрович
Формирование силицидов кобальта и никеля в пленочных структурах металл - пористый кремний, [Текст], автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01, Минский радиотехнический институт
Минск :
1990 .-
21 с. .-
ил., табл.
Служебное пользование № 42 .-