Разработка автоматических преобразователей и регуляторов концентрации компонентов парогазовых и газовых смесей для эпитаксиального и диффузионного оборудования микроэлектроники
Гостик, Александр Леонидович
Разработка автоматических преобразователей и регуляторов концентрации компонентов парогазовых и газовых смесей для эпитаксиального и диффузионного оборудования микроэлектроники, [Текст], автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.05, Государственный комитет СССР по народному образованию, Московский институт электронной техники
Москва :
1988 .-
22 с. .-
ил., табл.
Служебное пользование № 57 .-