Технология получения и электрофизические свойства тонких пленок материалов системы Ge-Sb-Te, предназначенных для устройств фазовой памяти
Лазаренко, Петр Иванович
Технология получения и электрофизические свойства тонких пленок материалов системы Ge-Sb-Te, предназначенных для устройств фазовой памяти, [Текст], автореф. дис. ... канд. технических наук : 05.27.06, [Национальный исследовательский университет "МИЭТ"]
Москва :
2014 .-
28 с. .-
ил., табл.