Каталог библиотеки БГТУ

1. Базы данных
2. Авторефераты диссертаций и диссертации
3. Ключевые слова
4. система TiN / Ti / Si

Авторефераты диссертаций и диссертации. Ключевые слова - система TiN / Ti / Si

• Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN / Ti / Si в технологии интегральных микросхем
  Колос, Владимир Владимирович
  
  Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN / Ti / Si в технологии интегральных микросхем, [Текст], автореф. дис. ... канд. физико-математических наук : 01.04.07, Белорусский государственный университет Минск : 2012 .- 23 с. .- ил.