| Индекс УДК | 546.28:539.211 |
| Автор | Хижняк, Е. А. |
|
Влияние состава щелочных растворов на особенности травления монокристаллического кремния Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГУ |
| Дата издания оригинала | 2006 |
| Ключевые слова |
анизотропное травление гидроксид калия кремний травление кремния травление поверхности |
| Другие авторы | Усенко, А. Е. |
|
Свиридовские чтения Минск : БГУ, 2006 Вып. 3. - С. 182-187 RU/IS/BASE/455884478 985-485-680-1 |
