| Индекс УДК | 546:539.211 |
| Автор | Усенко, А. Е. |
|
Морфология поверхности монокристаллов кремния, формирующаяся при растворении в полирующихся кислотных травителях Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГУ |
| Дата издания оригинала | 2006 |
| Ключевые слова |
жидкостное химическое травление кислотное травление кремний монокристаллы |
| Другие авторы | Хижняк, Е. А. |
|
Свиридовские чтения Минск : БГУ, 2006 Вып. 3. - С. 165-169 RU/IS/BASE/455884478 985-485-680-1 |
