| Маркер записи | n 22 7 4500 |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/560448975 |
| Дата корректировки | 16:26:32 4 октября 2017 г. |
|
985-08-0470-Х 3500-00 |
|
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка текста | rus |
| 621.3.049.77.002 | |
|
621.3 Е 60 |
|
|
Емельянов, Виктор Андреевич д-р техн. наук Емельянов, В. А. |
|
|
Технология микромонтажа интегральных схем Текст [под ред. В. В. Баранова] |
|
|
Минск Беларуская навука 2002 |
|
|
335 с. ил., табл. |
|
| Рассмотрены характерные закономерности процессов формирования тонких пленок с заданными свойствами, адаптированными к последующим операциям маршрута, и комплекс новых конструктивно-технологических методов и средств обеспечения высококачественного микромонтажа кристаллов в серийном производстве БИС и других изделий микроэлектроники. | |
|
интегральные схемы микромонтаж кристаллов микромонтажные соединения тонкопленочные покрытия |
|
| Другие авторы | Баранов, В. В. |
| Роль лиц | ред. |
| Тип документа | m |
