| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/432224559 |
| Дата корректировки | 14:22:39 11 сентября 2013 г. |
| Вид содержания и средства доступа | 3-50 |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.793.1:547.1'13 |
| Полочн. индекс | 621.7 |
| Авторский знак | О-72 |
| Грибов, Б. Г. | |
|
Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений Текст [монография] Академия наук СССР, Институт химии ; [отв. ред. Г. А. Разуваев] |
|
| Место издания | Москва |
| Издательство | Наука |
| Дата издания оригинала | 1981 |
| Объем | 321, [1] с. |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Аннотация | Монография отражает достижения одной из наиболее интересных областей применения металлоорганических соединений - получение неорганических пленок и покрытий термическим разложением МОС. |
|
осаждение пленок осаждение покрытий металлоорганические соединения термическое разложение неорганические покрытия термораспад полупроводниковые материалы |
|
|
Домрачева, Г. А. Жук, Б. В. Каверин, Б. С. Козыркин, Б. И. Мельников, В. В. Суворова, О. Н. |
|
|
Академия наук СССР Институт химии |
|
| Тип документа | m |
