| Индекс УДК | 621.382.049.772.1 |
| Автор | Маттис, Брентон |
|
Тонкие поликристаллические и аморфные пленки. Физика и применения [монография] под ред. Л. Казмерски ; пер. с англ. под ред. А. А. Веденова Текст |
|
| Место издания | Москва |
| Издательство | Мир |
| Дата издания оригинала | 1983 |
| Объем | 303, [1] с. |
| Примечание | Парал. тит. л.: англ. |
| Аннотация | Коллективная монография, написанная ведущими специалистами США в области получения и применения аморфных и поликристаллических тонких пленок. Рассматриваются механизмы роста, структура, электрические и оптические свойства тонких полупроводниковых пленок. Значительное внимание уделяется созданию приборов с заданными характеристиками на основе тонких аморфных и поликристаллических пленок. |
| Ключевые слова | тонкие пленки |
| Другие авторы | Эмин, Дэвид |
