| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/355505369 |
| Дата корректировки | 14:46:55 20 января 2021 г. |
| ISBN | 978-985-441-878-0 |
| Вид содержания и средства доступа | 20000-00 |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.382.049.77-027.3(075.8) |
| Полочн. индекс | 621.3 |
| Авторский знак | Т38 |
| Автор | Ануфриев, Леонид Петрович |
| Роль лиц | автор |
| Дата | 1945 |
|
Технология изделий интегральной электроники Текст учебное пособие для студентов высших учебных заведений по специальностям "Проектирование и производство радиоэлектронных средств", "Электронно-оптические системы и технологии" [Л. П. Ануфриев и др. ; под общей редакцией А. П. Достанко и Л. И. Гурского] ; Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники", Филиал кафедры электронной техники и технологий на НПО "Интеграл" |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Амалфея |
| Дата издания оригинала | 2010 |
| Объем | 535, [1] с. |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил |
| Ключевые слова | микроэлектроника |
|
полупроводниковые приборы интегральные схемы интегральная электроника изделия интегральной электроники микроэлектронная технология поверхностная обработка ионно-плазменные технологии эпитаксиальные процессы фотолитография металлические пленки полупроводниковые пластины обработка поверхности ионно-плазменные методы эпитаксия диэлектрические слои методы нанесения слоев сборочные процессы контроль качества надежность изделий |
|
| Другие авторы | Бордусов, Сергей Валентинович (р. 1955) |
| Роль лиц | автор |
|
Гурский, Леонид Ильич (р. 1936) автор Керенцев, А. Ф. автор Ковальчук, Н. С. автор Коробко, А. О. автор Ланин, В. Л. автор Осипов, А. А. автор Портнов, Л. Я. автор Рубцевич, И. И. автор Соловьев, Я. А. автор Солодуха, В. А. автор Становский, В. В. автор |
|
| Организация/ юрисдикция | Министерство образования Республики Беларусь |
|
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники Филиал кафедры электронной техники и технологий на НПО "Интеграл" |
|
| Гриф литературы для ВШ | МО |
