Индекс УДК | 544.65 |
Анализ кремний-углеродных пленок в составе импедансометрических сенсоров методом Мотта-Шоттки | |
Место издания | Минск |
Издательство | БГТУ |
Дата издания оригинала | 2024 |
Ключевые слова | кремний-углеродные пленки |
Другие авторы | Мясоедова, Т. Н. |
RU/IS/BASE/777386410 Инновационные материалы и технологии - 2024 Минск : БГТУ, 2024 С. 288-290 |