Зависимость состава примесей карбида кремния от температуры в условиях процесса Ачесона Электронный ресурс |
|
Место издания | Минск |
Издательство | Беларуская навука |
Ключевые слова | примеси карбида кремния |
Другие авторы | Гринчук, П. С. |
RU/IS/BASE/749733209 Молодежь в науке - 2023 Минск : Беларуская навука, 2023 С. 655-657 |