|
Оценка повреждаемости поверхности покрытий TiN и AlN, нанесенных при различном потоке азота в системе магнетронного распыления Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Беларуская навука |
| Ключевые слова | магнетронное распыление |
| Другие авторы | Лапицкая, В. А. |
|
RU/IS/BASE/749733209 Молодежь в науке - 2023 Минск : Беларуская навука, 2023 С. 643-645 |
