| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/745402378 |
| Дата корректировки | 9:48:26 4 сентября 2023 г. |
| ISBN | 978-985-08-1764-8 |
| Вид содержания и средства доступа | 30-00 |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.793:621.382.049.77 |
| Полочн. индекс | 621.7 |
| Авторский знак | Н25 |
| Автор | Емельянов, Виктор Андреевич |
| Полное имя | Емельянов, В. А. |
|
Нанокомпозиционные покрытия и технологии в микроэлектронике Текст [монография] Национальная академия наук Беларуси, Объединенный институт машиностроения |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Беларуская навука |
| Дата издания оригинала | 2014 |
| Объем | 410, [1] с. |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл., схем. |
| Примечание | Авт. указаны на обороте тит. л. |
| Аннотация | В монографии обобщены результаты исследований закономерностей осаждения тонких нанокомпозиционных покрытий различной природы, наносимых на кристаллы, рабочие поверхности технологической оснастки, используемой при производстве изделий микроэлектроники, и их физико-химические свойства. Содержится информация о технологии изготовления базовых элементов корпусов и выводных рамок БИС, приведены оптимальные технические решения микромонтажа кристаллов, конструктивные особенности ис пользуемого при этом технологического оборудования. |
| Служебное примечание | Рогачёв, Александр Владимирович |
| Ключевые слова | нанокомпозиционные покрытия |
|
композиционные покрытия тонкопленочные покрытия нанокомпозиты нанесение покрытий микроэлектроника вакуумно-плазменные технологии микромонтажные соединения корпусирование интегральных схем технологическое оборудование |
|
| Другие авторы | Рогачев, Александр Владимирович |
| Полное имя | Рогачев, А. В. |
|
Федосенко, Николай Николаевич Федосенко, Н. Н. Пилипцов, Дмитрий Геннадьевич Пилипцов, Д. Г. |
|
| Организация/ юрисдикция | Национальная академия наук Беларуси |
| Другие уровни | Объединенный институт машиностроения |
| Тип документа | m |
