| Индекс УДК | 537.226 |
|
Исследования особенностей наноразмерных гетероструктур GaN и AlGaN, полученных методом плазменно-активированной молекулярно-пучковой эпитаксии на кремниевых подложках с использованием буферного слоя пористого кремния Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания | 2023 |
| Ключевые слова | плазменно-активированная молекулярно-пучковая эпитаксия |
| Другие авторы | Леньшин, А. С. |
|
RU/IS/BASE/733927329 Инновационные материалы и технологии - 2023 Минск : БГТУ, 2023 С. 51-52 |
