| Индекс УДК | 544.654.2 |
|
Электроосаждение сплошных осадков кремния из расплава LiCl-KCl-CsCl-K2SiF6 Электронный ресурс |
|
| Место издания | Воронеж |
| Издательство | ВГУИТ |
| Дата издания оригинала | 2022 |
| Ключевые слова | сплошные пленки кремния |
|
Проблемы и инновационные решения в химической технологии Воронеж : ВГУИТ, 2022 С. 57-58 RU/IS/BASE/734796016 |
