Поиск

Исследование температуры полупроводниковых пластин в реакционно-разрядной камере СВЧ плазмотрона резонаторного типа

Авторы: Тихон, О. И. Бондаренко, А. С. Мадвейко, С, И.
Местонахождение Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/713542116
Дата корректировки 14:08:36 11 августа 2022 г.
ISBN 978-985-582-488-7
Служба первич. каталог. Шайковская
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 533.924
Автор Тихон, О. И.
Исследование температуры полупроводниковых пластин в реакционно-разрядной камере СВЧ плазмотрона резонаторного типа
Текст
Место издания Гродно
Издательство ГрГУ им. Янки Купалы
Дата издания оригинала 2022
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 3 назв.
Ключевые слова температура полупроводниковых пластин
полупроводниковые пластины
реакционно-разрядная камера
камере СВЧ плазмотрона резонаторного типа
кремниевые пластины
Бондаренко, А. С.
Мадвейко, С, И.
науч. рук.
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
RU/IS/BASE/713347921
Физика конденсированного состояния
Гродно : ГрГУ им. Янки Купалы, 2022
С. 239-241
Тип документа b