Поиск

Физические процессы в лазерно-плазменном источнике при осаждении алмазоподобной углеродной пленки

Авторы: Пузырёв, М. В. Пузырев, М. В. Ступакевич, В. Ю. Шульган, Н. И.
Местонахождение Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/713539050
Дата корректировки 13:30:05 11 августа 2022 г.
ISBN 978-985-582-488-7
Служба первич. каталог. Шайковская
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.373.533.9
Автор Пузырёв, М. В.
Физические процессы в лазерно-плазменном источнике при осаждении алмазоподобной углеродной пленки
Текст
Место издания Гродно
Издательство ГрГУ им. Янки Купалы
Дата издания оригинала 2022
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 8 назв.
Служебное примечание Пузырев, М. В.
Ключевые слова физические процессы
лазерно-плазменный источник
осаждение
алмазоподобная углеродная пленка
графит
кремниевая подложка
Ступакевич, В. Ю.
Шульган, Н. И.
Пузырев, М. В.
науч. рук.
Институт прикладных физических проблем имени А. Н. Севченко БГУ
Гродненский государственный университет имени Янки Купалы
Белорусский государственный университет
RU/IS/BASE/713347921
Физика конденсированного состояния
Гродно : ГрГУ им. Янки Купалы, 2022
С. 233-235
Тип документа b