Индекс УДК | 544.654.2 |
Автор | Гевел, Т. А. |
Электроосаждение кремния из расплава KCl-K[2]SiF[6] Электронный ресурс |
|
Место издания | Минск |
Издательство | БГТУ |
Дата издания оригинала | 2021 |
Ключевые слова | электроосаждение |
RU/IS/BASE/696343831 Инновационные материалы и технологии - 2021 Минск : БГТУ, 2021 С. 305-307 |