| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/685199270 |
| Дата корректировки | 13:07:50 17 сентября 2021 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Свежинцева |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.382 |
|
Мельник, Н. Ю. Н. Ю. Мельник |
|
|
Резистивные пленки Si - La - Cr - Co, полученные из многокомпонентной литой мишени методом ионно-лучевого распыления Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | ФТИ НАН Беларуси |
| Дата издания оригинала | 2020 |
| Библиография | Библиогр.: 9 назв. |
|
резистивные пленки литая мишень удельное поверхностное сопротивление температурный коэффициент сопротивления интегральные микросхемы силициды редкоземельных металлов ионно-лучевое распыление |
|
|
Волочко, А. Т. А. Т. Волочко Зеленин, В. А. В. А. Зеленин |
|
| Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси | |
|
Современные методы и технологии создания и обработки материалов Минск : ФТИ НАН Беларуси, 2020 Кн. 2. - С. 144-150 RU/IS/BASE/678216794 978-985-6441-62-5 (кн. 2) |
|
| Тип документа | b |
