| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/684508339 |
| Дата корректировки | 9:38:08 18 ноября 2021 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Свежинцева |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.791.725 |
|
Ланин, В. Л. В. Л. Ланин |
|
|
Моделирование процесса термопередачи при прошивке кремниевой подложки лазерным излучением Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БНТУ |
| Дата издания | 2020 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 2 назв. |
|
прошивка кремниевой подложки прошивка лазером процесс термопередачи формирование сквозных отверстий лазерная обработка отверстий |
|
|
Фам, В. Т. В. Т. Фам Петухов, И. Б. И. Б. Петухов |
|
|
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ОАО «Планар-СО», г. Минск |
|
|
Приборостроение - 2020 Минск : БНТУ, 2020 С. 387-388 RU/IS/BASE/672143416 978-985-583-587-6 |
|
| Тип документа | b |
