Индекс УДК | 531.746 |
Моделирование торсионных подвесов чувствительного элемента МЭМС-датчика угла наклона Текст |
|
Место издания | Минск |
Издательство | БНТУ |
Дата издания | 2020 |
Ключевые слова | торсионные подвесы |
Приборостроение - 2020 Минск : БНТУ, 2020 С. 319-320 RU/IS/BASE/672143416 978-985-583-587-6 |