| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/684334409 |
| Дата корректировки | 9:37:43 18 ноября 2021 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Свежинцева |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.382 |
|
Телеш, Е. В. Е. В. Телеш |
|
|
Формирование пленок SiOF осаждением из ионных пучков Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БНТУ |
| Дата издания оригинала | 2020 |
| Библиография | Библиогр.: 3 назв. |
|
диэлектрическая проницаемость тонкопленочные покрытия электрофизические параметры слоев осаждение из ионных пучков |
|
|
Данилевич, Д. С. Д. С. Данилевич |
|
| Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники | |
|
Приборостроение - 2020 Минск : БНТУ, 2020 С. 315-317 RU/IS/BASE/672143416 978-985-583-587-6 |
|
| Тип документа | b |
