| Индекс УДК | 681.2.082 |
|
Особенности формирования слоев In[2]O[3] для высокочувствительных газовых сенсоров Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БНТУ |
| Дата издания оригинала | 2020 |
|
Приборостроение - 2020 Минск : БНТУ, 2020 С. 266-267 RU/IS/BASE/672143416 978-985-583-587-6 |
