Поиск

Облученные гамма-квантами пленки позитивного резиста ФП9120 на пластинах монокристаллического кремния

Авторы: Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. Черный, В. В.
Местонахождение Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/678460585
Дата корректировки 9:27:59 18 ноября 2021 г.
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Служба первич. каталог. Свежинцева
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.382:678.7
Бринкевич, Д. И.
Д. И. Бринкевич
Облученные гамма-квантами пленки позитивного резиста ФП9120 на пластинах монокристаллического кремния
Текст
Место издания Минск
Издательство БНТУ
Дата издания оригинала 2020
Библиография Библиогр.: 7 назв.
полимерные композиты
пленки резиста ФП9120
пластины монокристаллического кремния
резистивные пленки
Просолович, В. С.
В. С. Просолович
Черный, В. В.
В. В. Черный
Белорусский государственный университет
Белорусский национальный технический университет
Приборостроение - 2020
Минск : БНТУ, 2020
С. 169-171
RU/IS/BASE/672143416
978-985-583-587-6
Тип документа b