| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/677937944 |
| Дата корректировки | 12:05:44 25 июня 2021 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Свежинцева |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.382 |
|
Микитевич, В. А. В. А. Микитевич |
|
|
Зарядочувствительные методы измерения поверхностной фото-ЭДС Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БНТУ |
| Дата издания оригинала | 2020 |
| Библиография | Библиогр.: 4 назв. |
|
производство полупроводниковой микроэлектроники параметры полупроводниковых пластин методы измерения бесконтактные зарядочувствительные методы характеристики поверхности пластин фото-ЭДС |
|
|
Жарин, А. Л. А. Л. Жарин |
|
| Белорусский национальный технический университет, г. Минск | |
|
Приборостроение - 2020 Минск : БНТУ, 2020 С. 37-38 RU/IS/BASE/672143416 978-985-583-587-6 |
|
| Тип документа | b |
