| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/636542062 |
| Дата корректировки | 8:43:10 4 марта 2020 г. |
| ISBN | 5-01-028640-0 |
| Вид содержания и средства доступа | 3-90 |
| Служба первич. каталог. |
Лапко БГТУ |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 537.311.322:541 |
| Полочн. индекс | 537 |
| Авторский знак | С56 |
| Лифшиц, В. Г. | |
|
Современные проблемы физической химии поверхности полупроводников Текст сборник научных трудов Академия наук СССР, Сибирское отделение, Институт физики полупроводников ; отв. ред.: акад. А. В. Ржанов, д-р хим. наук, проф. С. М. Репинский |
|
| Место издания | Новосибирск |
| Издательство | Наука, Сибирское отделение |
| Дата издания оригинала | 1988 |
| Объем | 234, [3] с. |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Аннотация | Сборник содержит критический анализ экспериментальных данных о процессах плазменного, ион- и лазернохимического травления полупроводников, а также о процессах получения структур полупроводник - металл и полупроводник - диэлектрик. |
|
полупроводники физическая химия поверхности полупроводников поверхности полупроводников поверхностные фазы поверхности кремния физическая химия диэлектрики химическая кинетика плазменное травление полупроводников лазернохимическое травление полупроводников |
|
|
Белый, В. И. Репинский, С. М. Васильева, Л. Л. Бакланов, М. Р. |
|
|
Академия наук СССР Сибирское отделение Институт физики полупроводников |
|
| Тип документа | m |
