| Индекс УДК | 537.311.33 |
|
Теплофизика кремния [монография] Академия наук Узбекской ССР, Институт химии и физики полимеров ; [отв. ред. д-р физ.-мат. наук И. А. Смирнов] Текст |
|
| Место издания | Ташкент |
| Издательство | Фан |
| Дата издания оригинала | 1990 |
| Объем | 131, [4] с. |
| Аннотация | В монографии рассматривается теплофизическая спектроскопия различных дефектов с глубокими уровнями в кремнии. Анализируются физические закономерности тепловых процессов, протекающих в кремнии после его легирования, термообработки и радиационного воздействия, возможности использования теплофизических методов для обнаружения и исследования природы глубоких примесных центров в кремнии. |
| Ключевые слова | теплофизика кремния |
