| Индекс УДК | 535 |
| Автор | Стаськов, Н. И. |
|
Многоугловая эллипсометрия слоя аморфного кремния Текст |
|
| Место издания | Могилев |
| Издательство | МГУ им. А. А. Кулешова |
| Дата издания оригинала | 2007 |
| Ключевые слова | эллипсометрия |
| Другие авторы | Сотский, А. Б. |
|
Оптика неоднородных структур - 2007 Могилев : МГУ им. А. А. Кулешова, 2007 С. 100-103 RU/IS/BASE/627559569 978-985-480-428-6 |
