| Индекс УДК | 535.3:621.793.7 |
| Автор | Бурмаков, А. П. |
|
Свойства пленок оксида титана, сформированных магнетронным распылением Текст |
|
| Место издания | Могилев |
| Издательство | МГУ им. А. А. Кулешова |
| Дата издания оригинала | 2007 |
| Ключевые слова | магнетронные технологии |
| Другие авторы | Кулешов, В. Н. |
|
Оптика неоднородных структур - 2007 Могилев : МГУ им. А. А. Кулешова, 2007 С. 34-37 RU/IS/BASE/627559569 978-985-480-428-6 |
