Поиск

Пленки поликристаллического кремния в технологии производства интегральных схем и полупроводниковых приборов

Авторы: Турцевич, Аркадий Степанович Ануфриев, Леонид Петрович
Заказ Местонахождение Подробная информация
Пленки поликристаллического кремния в технологии производства интегральных схем и полупроводниковых приборов
Текст
Минск
Белорусская наука
2006
231 с.
ил.