Маркер записи | n |
Контрольный номер | RU/IS/BASE/630070609 |
Дата корректировки | 8:08:59 20 декабря 2019 г. |
Вид содержания и средства доступа | 0-13 |
Служба первич. каталог. |
Крот БГТУ |
Код языка каталог. | rus |
Правила каталог. | PSBO |
Код языка издания | rus |
Индекс УДК | 531.781.087.9 |
Полочн. индекс | 531 |
Авторский знак | О-11 |
Беликов, Л. В. | |
О проектировании датчиков давления с "интегральными" тензопреобразователями Текст [реферативный сборник] |
|
Место издания | Москва |
Издательство | ЦНИИТЭИприборостроения |
Дата издания оригинала | 1971 |
Объем | 19, [2] с. |
Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
ТС-6 "Приборы и устройства для контроля и регулирования теплотехнических процессов" | |
Аннотация | В настоящей работе рассмотрены основные вопросы проектирования мембранных датчиков давления с диффузионными и эпитаксиальными тензопреобразователями: выбор рациональных форм и расположения тензометрического моста на плоской кремниевой монокристаллической мембране, способ закрепления подобной мембраны в корпусе датчика и пр. |
проектирование датчиков давления датчики давления тензопреобразователи мембранные датчики давления кристаллографические плоскости тензорезистивные коэффициенты тензорезисторы монокристаллические мембраны |
|
Берников, В. Б. Евдокимов, В. И. Заседателев, С. М. Киселевский, С. Л. Сгибов, А. П. |
|
Центральный научно-исследовательский институт информации и технико-экономических исследований приборостроения, средств автоматизации и систем управления | |
Тип документа | m |