Поиск

О проектировании датчиков давления с "интегральными" тензопреобразователями

Авторы: Беликов, Л. В. Берников, В. Б. Евдокимов, В. И. Заседателев, С. М. Киселевский, С. Л. Сгибов, А. П.
Заказ Местонахождение Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/630070609
Дата корректировки 8:08:59 20 декабря 2019 г.
Вид содержания и средства доступа 0-13
Служба первич. каталог. Крот
БГТУ
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 531.781.087.9
Полочн. индекс 531
Авторский знак О-11
Беликов, Л. В.
О проектировании датчиков давления с "интегральными" тензопреобразователями
Текст
[реферативный сборник]
Место издания Москва
Издательство ЦНИИТЭИприборостроения
Дата издания оригинала 1971
Объем 19, [2] с.
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил., табл.
ТС-6 "Приборы и устройства для контроля и регулирования теплотехнических процессов"
Аннотация В настоящей работе рассмотрены основные вопросы проектирования мембранных датчиков давления с диффузионными и эпитаксиальными тензопреобразователями: выбор рациональных форм и расположения тензометрического моста на плоской кремниевой монокристаллической мембране, способ закрепления подобной мембраны в корпусе датчика и пр.
проектирование датчиков давления
датчики давления
тензопреобразователи
мембранные датчики давления
кристаллографические плоскости
тензорезистивные коэффициенты
тензорезисторы
монокристаллические мембраны
Берников, В. Б.
Евдокимов, В. И.
Заседателев, С. М.
Киселевский, С. Л.
Сгибов, А. П.
Центральный научно-исследовательский институт информации и технико-экономических исследований приборостроения, средств автоматизации и систем управления
Тип документа m