| Индекс УДК | 678.027.5 |
| Автор | Обухов, В. Е. |
|
CVD метод формирования DLC пленок и покрытий различного назначения Текст |
|
| Место издания | Гродно |
| Издательство | ГрГУ им. Я. Купалы |
| Дата издания оригинала | 2013 |
| Ключевые слова |
DLC пленки алмазоподобные углеродные пленки алмазоподобные углеродные покрытия рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия структурообразование пленок электронная структура пленок электропроводность |
| Другие авторы | Тявловская, Е. А. |
