| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/616151782 |
| Дата корректировки | 9:23:29 11 июля 2019 г. |
| Служба первич. каталог. | Шайковская |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 533.9.082, 533.922, 533.924, 621.373.8 |
| Автор | Воропай, Е. С. |
| Полное имя | Е. С. Воропай |
|
Лазерная спектроскопия покрытий полупроводников с субмикронным разрешением Электронный ресурс |
|
| Место издания | Гродно |
| Издательство | ГрГУ |
| Дата издания оригинала | 2012 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 2 назв. |
| Ключевые слова | лазерная спектроскопия |
|
покрытие полупроводников субмикронное разрешение полупроводники лазерный спектрометр LSS-1 кремниевые пластины оптические светофильтры лазерная атомно-эмиссионная спектроскопия |
|
| Другие авторы | Ермалицкий, Ф. А. |
| Полное имя | Ф. А. Ермалицкий |
|
Ермалицкая, К. Е. К. Е. Ермалицкая |
|
| Белорусский государственный университет | |
|
Гродно : ГрГУ, 2012 Ч. 1. - С. 217-220 Лазерная физика и оптические технологии RU/IS/BASE/596640280 978-985-515-596-7 |
|
| Тип документа | b |
