| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/613762097 |
| Дата корректировки | 17:28:17 13 июня 2019 г. |
| Служба первич. каталог. | Яновская |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 546.28:539.211 |
| Автор | Хижняк, Е. А. |
| Полное имя | Е. А. Хижняк |
|
Особенности морфологии поверхностей монокристаллического кремния, формирующихся в модифицированных щелочных растворах Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГУ |
| Дата издания оригинала | 2005 |
| Ключевые слова | кремний монокристаллический |
|
монокристаллический кремний обработка кремния анизатропное травление травление кремния |
|
| Другие авторы | Юрочко, А. Е. |
| Полное имя | А. Е. Юрочко |
|
Юхневич, А. В. А. В. Юхневич |
|
|
Свиридовские чтения Минск : БГУ, 2005 Вып. 2. - С. 137-141 RU/IS/BASE/253207909 985-485-479-5 |
|
| Тип документа | b |
